紫外波前分析儀SID4-UV是Phasics針對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用市場需求推出的一款高性價(jià)比的紫外波前分析儀，波長范圍覆蓋190nm~400nm，靶面尺寸為7.8X7.8mm2，提供300X300的采樣率，同時(shí)能夠提供26um的相位空間分辨率；該產(chǎn)品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測量要求，也能夠滿足半導(dǎo)體的光學(xué)器件的品質(zhì)管控測量和半導(dǎo)體晶圓面型的測量。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-09-02

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波前分析設(shè)備

波前分析儀波前應(yīng)用系統(tǒng) 波前調(diào)制設(shè)備

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產(chǎn)品介紹

紫外波前分析儀SID4-UV是Phasics針對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用市場需求推出的一款高性價(jià)比的紫外波前分析儀，波長范圍覆蓋190nm~400nm，靶面尺寸為7.8X7.8mm2，提供300X300的采樣率，同時(shí)能夠提供26um的相位空間分辨率；該產(chǎn)品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測量要求，也能夠滿足半導(dǎo)體的光學(xué)器件的品質(zhì)管控測量和半導(dǎo)體晶圓面型的測量。

應(yīng)用領(lǐng)域：193nm激光光束測量

半導(dǎo)體設(shè)備用鏡頭測量

半導(dǎo)體表面缺陷測量

紫外波前分析儀SID4-UV指標(biāo)規(guī)格
波長范圍	190nm~400nm
靶面尺寸	7.8X7.8mm2
相位空間分辨率	26um
相位譜&光強(qiáng)譜采樣率	300X300
相位分辨率	<2nm RMS
精度	15nm RMS
采樣頻率	15fps
實(shí)時(shí)相位輸出頻率	2fps（全分辨率）
通信接口	Giga Ethernet
尺寸	74 x 71 x 91 mm3
重量	約600g