光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)是Phasics推出的一款多波長動(dòng)態(tài)干涉儀，該產(chǎn)品應(yīng)用了Phasics的橫向四波剪切干涉技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)的波前測(cè)量，從而快速得到樣品的表面形貌信息;而且該技術(shù)的自消色差的特性,讓系統(tǒng)可以支持多個(gè)工作波長,有效避免傳統(tǒng)干涉儀測(cè)試波長跟工作波長不同帶來的誤差問題，特別針對(duì)濾光片，可以實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)干涉儀無法實(shí)現(xiàn)的TWE的測(cè)試。

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更新時(shí)間：2025-09-02

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波前分析設(shè)備

波前分析儀波前應(yīng)用系統(tǒng) 波前調(diào)制設(shè)備

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產(chǎn)品介紹

光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)

KALEO MULTIWAVE光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)是Phasics推出的一款多波長動(dòng)態(tài)干涉儀，該產(chǎn)品應(yīng)用了Phasics的橫向四波剪切干涉技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)的波前測(cè)量，從而快速得到樣品的表面形貌信息;而且該技術(shù)的自消色差的特性,讓系統(tǒng)可以支持多個(gè)工作波長,有效避免傳統(tǒng)干涉儀測(cè)試波長跟工作波長不同帶來的誤差問題，特別針對(duì)濾光片，可以實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)干涉儀無法實(shí)現(xiàn)的TWE的測(cè)試。

應(yīng)用領(lǐng)域：濾光片TWE檢測(cè)

反射鏡RWE檢測(cè)

雷達(dá)保護(hù)窗口檢測(cè)

光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)

圖2、5英寸帶通濾光片的RWE

光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)

圖3、940nm的鏡子面型

光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)

圖4、645nm帶通濾光片TWE

斐索干涉儀 Kaleo Multiwave

光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)

圖5、斐索干涉儀和KaleoMultiwave的測(cè)試結(jié)果對(duì)比

測(cè)試結(jié)果對(duì)比表

		FIZEAU	PHASICS
直徑（mm）		124.9	125.4
RWE(nm PTV)		1498.13	1535.38
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR		35.2
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA		9.1
	SAG(fr)	5.13	5.04
	IRR(fr)	0.75	0.61
	RSI (fr)	0.34	0.23
	RMSt (fr)	1.477	1.459
	RMSi (fr)	0.129	0.103
	RMSa (fr)	0.085	0.059

光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格

KALEO Multiwave技術(shù)規(guī)格
配置	雙透射
測(cè)試功能	RWE反射表面形貌 TWE透射器件
最多可支持波長	標(biāo)配2個(gè)波長；最多可以8個(gè)波長
定制波長	從193nm到14um可選紫外：266nm，355nm，405nm VIS/NIR：550nm，625nm，780nm，940nm，1050nm SWIR/MWIR/LWIR:1.55um,2.0um,3.39um,10.6um
通光口徑	130mm
光路中心高度	108mm
調(diào)試模式	實(shí)時(shí)相位及澤尼克系數(shù)顯示
FOV調(diào)整范圍	+/- 2°
尺寸和重量	910x600x260 mm3 , 25kg
隔震要求	無
重復(fù)性（RMS）	<0.7nm(<λ/900)
精度	80nmPV
動(dòng)態(tài)范圍(defocus)	500 fringes SFE=150um
反射率	~4% - 99%